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可編程精密勻膠機

簡要描述:可編程精密勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

  • 產品型號:HC150SE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-03-01
  • 訪  問  量:1170

詳細介紹


可編程精密勻膠機

型號:HC150SE

   

HC150SE可編程精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點:

l  設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用。

l  HDPE高分子材料旋涂內腔,耐腐蝕;采用分體式結構,易清洗和移動。

l  4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用,可精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;

l  經CNC一體加工成型的HDPE內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

l采用高級PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;

l 具有電機進膠保護功能;管路易疏通結構設計;

l  轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

l  可設置用戶密碼保護功能;

技術參數:

l  適用晶元尺寸范圍:?10~150mm

l  旋涂速度:100~12000rpm

l  轉速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

l  最大旋涂時間:3000s

l  旋涂時間精度:0.1s

l  內腔直徑212mm,內腔采用*的凹面防濺設計;

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V

可編程精密勻膠機設備外形尺寸:XX高:310X254X250mm




 

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